潔凈廠房潔凈度，即是指潔凈室及潔凈區(qū)內(nèi)，空氣中懸浮粒子的空氣潔凈度。當(dāng)潔凈室（區(qū)）內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求控制微生物、化學(xué)污染物時(shí)，應(yīng)根據(jù)工藝特點(diǎn)對(duì)各空氣潔凈度等級(jí)規(guī)定相應(yīng)的微生物、化學(xué)污染物濃度限值。

按《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50073-2013》標(biāo)準(zhǔn)，潔凈度的整數(shù)等級(jí)應(yīng)按下表計(jì)算確定：

注：按不同的測(cè)量方法，各等級(jí)水平的濃度數(shù)據(jù)的有效數(shù)字不應(yīng)超過3位。

各種要求粒徑D的最大濃度限值Cn應(yīng)按下式計(jì)算：

以上公式中：Cn = 每立方米空間最大允許大于某粒徑顆粒物的數(shù)量濃度；

N = ISO潔凈度分級(jí)數(shù)；

D = 顆粒物尺度，單位為微米；

0.1 = 常數(shù)，單位為微米。

一般潔凈度可對(duì)應(yīng)潔凈室的狀態(tài)：空態(tài)（已建成，但無設(shè)備和人員），靜態(tài)（設(shè)備已就位，但無人員），動(dòng)態(tài)（設(shè)備和人員正常運(yùn)作）。

隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，目前在一些高科技產(chǎn)品（芯片、半導(dǎo)體、液晶、CPU等）的潔凈廠房中，不僅要求控制潔凈室（區(qū)）內(nèi)的微粒，還要求控制各類微生物、化學(xué)污染物等方面，愈發(fā)嚴(yán)格。